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    名称:AOI设备-AOI光学自动检测设备-Wafer AOI系列
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    产品特点

    1、支持4/6/8英寸晶圆及切割环   
    2、2500万像素分辨率,AI深度神经网络加持     
    3、自动光学对焦、位置矫正、物镜切换
    4、简易程式制作,减轻操作人员负担
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    产品参数

    型号 Wafer AOI系列
    测试对象 支持4/6/8英寸晶圆及切割环
    载台 微孔陶瓷X/Y/R
    相机像素 2500万像素高分辨率
    可检测平面 AI深度神经网络加持
    显微镜光学系统 5轮物镜转换器,配备2X,5X,10X,20X显微物镜
    光学模式 自动光学对焦,自动位置矫正,自动物镜切换
    计算效率 多服务器分布式计算提速
    控制方式 简易程式制作,减轻操作人员负担
    图像系统 彩色图像Review系统
    扩展升级 扩展兼容12英寸晶圆及切割环
    注:以上参数仅供参考,本公司可能对相关产品参数进行调整,如有变动,恕不再另行通知。若有不明处,欢迎来电询问。
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    工作原理

    AOI检测技术应运而生的背景是电子元件集成度与精细化程度高,检测速度与效率更高,检测零缺陷的发展需求,其最大优点是节省人力,降低成本,提高生产效率, 统一检测标准和排除人为因素干扰,保证了检测结果的稳定性,可重复性和准确性,及时发现产品的不良,确保出货质量。
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    应用领域

    适用于晶圆后道工序外观检测   
    精准检测晶圆图形/蚀刻不良、崩边/缺边、划伤/切割破损、异物、破损、脏污等缺陷
    快速反应,专业配合,精心打造服务生态链
    1年质保,终身维护,提供配套服务
    承诺到达现场的时限:昆山4小时,苏州8小时,江浙沪24小时,其他区域48小时
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    荣誉资质

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