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    用于半导体封装的玉米视频app下载污免费设备主要由哪些部分组成?

    返回列表 来源:玉米视频app下载链接 浏览: 发布日期:2018-10-29 16:44【
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    1、真空腔体:带有各种结构的放电电极,使得反应气体激发生成等离子体,形成不同状态、不同特性和密度的等离子体
     

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    2、等离子发生器:含电源和匹配器,提供反应气体放电能量来源,维持等离子体放电状态;有不同的频率区分。
     

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    3、真空泵:抽取真空,保持真空度,抽走未电离的工艺气体和反应副产物;包括单级泵和泵组。
     

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    4、真空计:监测真空腔体的真空度。


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    5、流量计:测量反应气体的流量。

     

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    6、反应气体:各种工艺气体,如Ar、H2、N2、O2、CF4等,根据需要使用单一气体或者两种以上的混合气体。

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    7、电气控制:含软件,保证设备运行、监测、数据采集和工艺参数设定等。


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